国际风险投资公司也开始将目光瞄准了国内技术仍然薄弱的芯片设备制造业。中微半导体公司于10月10日获得美国多家风投公司3500万美元的风险投资。
这是国内半导体设备业至今为止获得金额最大的风险投资。在第一期投资的美国华登国际风险投资公司、光速风险投资合伙人、红点风险投资、中西部合伙人、湾区合伙人、全球催化剂合伙人和美国科天投资继续参与了这轮投资。高盛公司作为新的投资者，参与了投资。
目前，国内半导体设备市场依然是国外企业的天下。今年全球芯片设备投资将增长20%，达到390亿美元。不过国内芯片制造商几乎无法从中享受任何益处。由于技术含量高，巨大的芯片设备市场几乎完全被美国、日本等企业垄断。大部分脱胎于科研机构的国产芯片设备制造商只能提供低端或生产配套设备。
中微公司董事长兼执行长尹志尧先生表示，这次投资将会加速该公司的试生产（Beta）设备成功引入市场。而华登国际风险投资公司董事长陈立武称，半导体工业渴望新设备厂商不仅给芯片的制造提供新的技术，而且会不断降低芯片的制造成本。中微公司做了一个较为大胆的尝试。
未来三年,中国半导体工厂设备总投资将分别高达20.33亿美元、20.53亿美元、25.56亿美元。依据2004年的初步统计,中国本土设备只占不到1/50。而在国家半导体产业"十一五"规划中,半导体设备业也是核心规划项目，未来国内的半导体行业将会有一个较大的飞跃。
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